亦屬于一種具有開關量輸出的位置傳感器，它的測量頭通常是構成電容器的一個極板，而另一個極板是物體的本身，當物體移向接近開關時，物體和接近開關的介電常數發生變化，使得和測量頭相連的電路狀態也隨之發生變化，由此便可控制開關的接通和關斷。電容式接近開關對任何介質都可以檢測，包括導體、半導體、絕緣體，甚至可以用于檢測液體和粉末狀物料。對于非金屬物體，動作距離決定于材質的介電常數，材料的介電常數越大，可獲得的動作距離越大。

　　電容式接近開關由三大部分組成：振蕩器、開關電路及放大輸出電路。振蕩器產生一個交變磁場。當金屬目標接近這一磁場，并達到感應距離時，在金屬目標內產生渦流，從而導致振蕩衰減，以至停振。振蕩器振蕩及停振的變化被后級放大電路處理并轉換成開關信號，觸發驅動控制器件，從而達到非接觸式之檢測目的。

　　電容式接近開關的原理就是當電源接通時，RC振蕩器不震蕩，當一目標朝著電容器的電極靠近時，電容器的容量增加，振蕩器開始震蕩，通過后極電路的處理，將振和震蕩兩種信號轉換成開關信號，電容式接近開關的感應圈由同軸金屬電極構成，很像“打開的”電容器電極，這兩個電極構成一個電容，串接在RC振蕩回路中，從而起到檢測有無物體存在的目的。